簡介：

 HCTZ-2型數(shù)字式四探針測試儀器是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。

 儀器由主機(jī)足夠的實力、探針測試臺緊迫性、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成結構重塑，測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀器主機(jī)直接顯示聽得懂，亦可與計算機(jī)相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析高質量發展，然后把測試數(shù)據(jù)以表格全方位，圖形直觀地記錄、顯示出來影響力範圍。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看大局，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析應用提升。

 儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計主動性、裝配創造性。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快道路、精度高規模設備、測量范圍寬、穩(wěn)定性好指導、結(jié)構(gòu)緊湊競爭力、易操作等特點。

 本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠進一步完善、半導(dǎo)體器件廠集聚、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻測試調整推進。

測量原理：

將四根排成一條直線的探針以一定的壓力垂直地壓在被測樣品表面上狀況，在 1、4 探針間通以電流 I(mA)機製，2全過程、3 探針間就產(chǎn)生一定的電壓 V(mV)(如圖1)。測量此電壓并根據(jù)測量方式和樣品的尺寸不同探討。

直線四探針測試原理圖

技術(shù)指標(biāo)：

1不負眾望、測量范圍

電阻率：10^-4～10⁵Ω.cm；

方塊電阻：10^-3～10⁶Ω/□調解製度；

電阻：10^-4～10⁵Ω精準調控；

電導(dǎo)率：10^-5～10⁴s/cm；

可測晶片直徑：140mmX150mm (配S-2A型測試臺)應用的因素之一；

      200mmX200mm (配S-2B型測試臺)解決；

        400mmX500mm (配S-2C型測試臺)；

2服務延伸、恒流源

電流量程分為 1μA共創輝煌、10μA、100μA進一步、1mA大部分、10mA、100mA 六檔實際需求，各檔電流連續(xù)可調(diào)解決方案；

3、數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV善謀新篇；　　　　　

分辨力：10μV增產；

輸入阻抗：＞1000MΩ；  

精度：±0.1%方法；

顯示：點陣顯示屏行動力；　　

4 提供有力支撐、四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻: ≥1000MΩ保供；

機(jī)械游移率: ≤0.3％自行開發；

探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì)，探針直徑Ф0.5mm責任；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)應用情況；

5 、四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

C：探針系數(shù)組建；

F：探針間距修正因子表現；

S：探針平均間距；

6深刻變革、 模擬電阻測量相對誤差（按 JJG508-87 進(jìn)行）

0.01Ω結論、0.1Ω、1Ω著力增加、10Ω智能化、100Ω、1000Ω處理、10000Ω≤0.3％±１字；

7 在此基礎上、整機(jī)測量大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm 測試)≤±5％開展研究；

8 、整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5％相互融合；

9 首要任務、外型尺寸（大約）

電氣主機(jī): 460mm×320mm×100mm；

10 不同需求、儀器重量（大約）

電氣主機(jī): 3.5kg發展；

11、標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度:：23±2℃總之；

相對濕度：≤65％面向；

無高頻干擾；

無強(qiáng)光直射研學體驗；

注意:使用1μA量程時建設項目，允許有小于1.0nA的空載電流.應(yīng)在相對濕度小于50%時使用。

設(shè)備特點：

1落實落細、可以測量高溫相結合、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率製高點項目；

2為產業發展、軟件範圍和領域、觸摸屏、高溫爐等集成于一體各項要求，可以進(jìn)行可視化操作新趨勢；

3、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量共謀發展；同時保證探針在高溫下不氧化學習；

4、采用labview軟件開發(fā)聽得懂，操控性應用優勢、兼容性好、方便升級全方位；

5高效節能、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象大局；

6新創新即將到來、控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度宣講手段；

7重要工具、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表。

設(shè)備保養(yǎng)：

經(jīng)常保持設(shè)備和計算機(jī)的清潔配套設備、衛(wèi)生更優質。

預(yù)防高溫、過濕推進高水平、灰塵脫穎而出、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機(jī)器或計算機(jī)內(nèi)部生產創效。

定期檢查結構，保持零件、部件的完整性優化上下。