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簡(jiǎn)要描述：復(fù)合導(dǎo)電材料高溫四探針測(cè)試機(jī)Huace-600，該系統(tǒng)可以測(cè)量硅激發創作、鍺單晶（棒料前景、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層增幅最大、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻共享應用，該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。
產(chǎn)品型號(hào)：Huace-600廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2024-07-08訪 問 量：2155產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 華測(cè)儀器 | 電動(dòng)機(jī)功率 | *kW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 680X450X400mm | 重量 | 20kg |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 測(cè)量溫度 | 室溫---600°C? |
| 控溫精度 | ±1℃? | 顯示精度 | ±0.1℃ |
| 樣品 | 直徑15~30mm建言直達，厚度小于4mm |
復(fù)合導(dǎo)電材料高溫四探針測(cè)試機(jī)Huace-600
復(fù)合導(dǎo)電材料高溫四探針測(cè)試機(jī)Huace-600概述：
●Huace-600高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以測(cè)量硅將進一步、鍺單晶（棒料充分發揮、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層成就、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻重要方式，該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的。
●采用由四端測(cè)量方法測(cè)試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱為一體的的高溫測(cè)試系統(tǒng)研究進展，滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的 測(cè)量要求設計標準，通以在高溫 、真空互動互補、氣氛的條件下測(cè)量導(dǎo)電材料電阻和電阻率，可以分析被測(cè)樣的電阻和電阻率隨溫度意向、 時(shí)間變化的曲 線． 目前主要針對(duì)圓片意料之外、方塊、長(zhǎng)條等樣品進(jìn)行測(cè)試形式，可以廣泛用于碳系導(dǎo)電材料置之不顧、 金屬系導(dǎo)電材料、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料數字化、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料方便、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測(cè)量。 過測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻各領域，電阻率應用領域，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線。
儀器特點(diǎn)：
1進行培訓、可以測(cè)量高溫發展機遇、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率法治力量；
2全技術方案、軟件、觸摸屏共享、高溫爐等集成于一體信息化，可以進(jìn)行可視化操作方式之一；
3、可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測(cè)量新型儲能；同時(shí)保證探針在高溫下不氧化創新能力；
4、采用labview軟件開發(fā)領域，操控性溝通機製、兼容性好、方便升級(jí)註入新的動力；
5領先水平、可自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象效率和安；
6設計能力、控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度深入開展；
7更為一致、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；
特點(diǎn)：
● 多級(jí)循環(huán)溫度采集技術(shù)： 設(shè)備采用PID算法技術的開發，以及多級(jí)循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值研究與應用。控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器更高效，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實(shí)際溫度.
● 雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù)： 本設(shè)備不僅具備過壓全面協議、過流保護(hù)系統(tǒng)，它雙系統(tǒng)互鎖機(jī)制具體而言，當(dāng)任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)工具，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 喜愛，以及電流抗干擾的屏蔽重要的角色。
● SPWM電子升壓技術(shù) 目前設(shè)備大都采用SPWM電子升壓技術(shù)，這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn)向好態勢，精度高平臺建設。便于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)是調(diào)壓器。
技術(shù)參 數(shù) | ●測(cè)量溫度：室溫---600°C ; |
●控溫精度：±1℃ 貢獻力量， | |
●顯示精度：±0.1℃推動並實現； | |
●升溫斜率：1-5°C/min； | |
●測(cè)量精度：0.05%覆蓋範圍； | |
●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; | |
●電導(dǎo)率：10-5 ～105 s/cm | |
●方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□優化程度； | |
●電阻：10-5 ～105 Ω； | |
●探針間距：2±0.01mm奮勇向前； | |
●探針壓力：0~2kg可調(diào)不斷豐富； | |
●針間絕緣電阻：≥1000MΩ實施體系； | |
●真空腔體漏率標(biāo)準(zhǔn)要小于10-9 Pa?m3/s ; | |
●樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm各有優勢； | |
●設(shè)備尺寸：680mmX450mmX400mm |
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