測試原理

壓電系數(shù)測試方法的基本原理是利用壓電材料的壓電效應(yīng)服務水平。當(dāng)壓電材料受外力而變形時最新，材料內(nèi)部產(chǎn)生極化，在 兩個相對表面上產(chǎn)生符號相反的電荷處理方法，外力撤去后電荷消失重要作用。或者在壓電材料的極化方向施加電場習慣，材料會產(chǎn)生變 形充足，電場撤去后恢復(fù)到初始狀態(tài)。在衡量壓電特性的諸多 參數(shù)中的積極性，縱向壓電系數(shù) d33和橫向壓電系數(shù) d31較為重要同期。由于薄膜—基底結(jié)構(gòu)存在基底加緊效應(yīng)，故測得的壓電系數(shù)均為有效值使命責任。

薄膜壓電材料壓電系數(shù)測試方法

直接測試方法

垂直壓力加載

垂直壓力加載方法可分為靜態(tài)和準(zhǔn)靜態(tài)加載兩種方 式效果。二者都是基于正壓電效應(yīng)，對薄膜—基底試樣進(jìn)行垂直加載合規意識，試樣產(chǎn)生壓縮變形并有電荷生成密度增加，用于測得材料的縱 向壓電系數(shù) d33。Lefki K 等人通過金屬將力F施加于鋯鈦酸鉛壓電陶瓷( PZT) 薄膜上創新內容，PZT薄膜由于壓電效應(yīng)產(chǎn)生電荷Q機遇與挑戰。通過與試樣并聯(lián)電容器Cm可將生成電荷轉(zhuǎn)換成電壓Vm輸出，并由電壓表測量善於監督。

Cain M G 等人闡述了準(zhǔn)靜態(tài)垂直加載法的原理及方 案提單產。首先對待測樣品施加預(yù)緊力防止振動; 通過對參考試 樣施加交流力并通過接觸探針傳至待測試樣深入實施，選用電荷放 大器測試產(chǎn)生的電荷，對比參考試樣和待測試樣產(chǎn)生的電荷量發展空間，可得出待測樣品的壓電系數(shù)效果。

垂直壓力加載測壓電系數(shù)的優(yōu)勢在于簡單直接，但由于力通過金屬施加于壓電薄膜足了準備，樣品表面受力不均合作關系，應(yīng)力分布不均勻; 樣品的壓縮區(qū)域與未被加載的區(qū)域存在著 加緊效應(yīng)，會有橫向效應(yīng)參與其中深刻內涵，影響縱向壓電系數(shù)的測試結(jié)果傳遞。

氣動壓力加載

為了解決垂直壓力加載試樣表面受力不均和基底彎曲的問題，Chen W W 等人采用氣動壓力加載測試聚偏氟乙烯( PVDF) 薄膜的壓電系數(shù)深入闡釋，與 Xu F和 Park G T不同相關性， 該裝置只包含一個腔體，壓電薄膜沒有用 O 型環(huán)固定而是直接置于平臺上物聯與互聯，通過向腔內(nèi)輸入高壓氮氣穩定，壓力的變化導(dǎo) 致壓電薄膜產(chǎn)生電荷。通過電荷放大器測量產(chǎn)生的電荷供給，并 通過壓力控制器監(jiān)測腔內(nèi)氣壓的大小優勢與挑戰，根據(jù)電荷和壓力的比 值計算出有效的縱向壓電系數(shù)。該方法消除了先前氣動加載研究中因 O 型環(huán)摩擦導(dǎo)致的平面應(yīng)力的影響解決方案。其平面應(yīng)力只由膜向外運動產(chǎn)生且對壓電系數(shù)的測量影響很小趨勢。

氣動壓力加載可以使壓電薄膜表面受力均勻且不會受到橫向效應(yīng)的影響。但加載方式較為復(fù)雜作用，且測試靈敏度較低相互配合。電荷只能在氣體加載與卸載時產(chǎn)生。

懸臂梁法

懸臂梁法由于操作簡單且可靠性高著力增加，是分析壓電薄膜壓電常用的方法智能化。通常壓電薄膜沉積在懸臂梁基底上，懸臂梁一端固定流程，當(dāng)懸臂梁在載荷的作用下彎曲時合作，壓電薄膜由于彎曲產(chǎn)生應(yīng)變勃勃生機，繼而產(chǎn)生電荷助力各業。 

Tsujiura S Y 等人通過對壓電懸臂梁自由端施加位 移使其在正負(fù)電極之間產(chǎn)生電壓，將位移值與電壓值代入壓電本構(gòu)方程和懸臂梁彎曲方程中可以得出橫向壓電系數(shù)提供有力支撐。其中電壓值由電荷放大器測量應用，位移的施加則是將懸臂梁置于振動臺上，通過振動使自由端產(chǎn)生位移品率。

懸臂梁法測試靈敏度較高且數(shù)據(jù)可靠相貫通，根據(jù)懸臂梁法的測試原理不斷發展，通過多靶濺射制備含組分梯度的懸臂梁陣列結(jié)構(gòu)，可以在振動激勵作用下多通道測試產(chǎn)生的電荷自動化方案，一次實驗得出不同組分薄膜的壓電系數(shù)緊密協作，對新材料的設(shè)計與研發(fā)提供數(shù)據(jù)資料。 

激光干涉法

隨著近年來壓電系數(shù)測試的研究發(fā)展線上線下，基于逆壓電效應(yīng)的測試方法逐漸成為了主流方法發揮重要作用，且有諸多研究人員對壓電系數(shù)測試的影響因素進(jìn)行了分析與驗證。激光干涉法是基于逆壓電效應(yīng)測試壓電系數(shù)的有效方法之一數據顯示。即通過 信號發(fā)生器對壓電薄膜正負(fù)電極施加交流電信號高質量，通過激光干涉方法測得薄膜的振動位移，從而計算出壓電系數(shù)記得牢。激光干涉法可以分為單激光干涉和雙激光干涉註入了新的力量。

單激光干涉法主要包括邁克爾遜和馬赫·曾德爾兩種形式，來測試壓電薄膜表面振動位移更多可能性。Muensit S 等人利 用邁克爾遜單激光干涉測試了 PZT 樣品的壓電系數(shù)去創新，通過觀察干涉條紋的變化，可以得出薄膜表面的位移重要性∮诌M了一步；谀鎵弘娦?yīng)壓電方程，可計算出有效的縱向壓電系數(shù)聽得進。

馬赫·曾德爾激光干涉法相比邁克爾遜激光干涉法有高的位移分辨率新的力量。Lueng C M采用方法測試了 GaN 薄膜的縱向壓電系數(shù)。兩種單激光干涉法都有分辨率高的優(yōu) 勢便利性，但當(dāng)壓電薄膜在逆壓電效應(yīng)下產(chǎn)生變形時全面展示，基底也會產(chǎn) 生彎曲效應(yīng)，且基底彎曲的位移遠(yuǎn)大于薄膜的位移深刻認識，影響終的計算結(jié)果核心技術。

為了解決上述問題，Sivaramakrishnan S 等人利用雙激光干涉法測試了 PZT 薄膜的縱向壓電系數(shù)主動性，兩束光分別 從試樣頂端和底端入射創造性，觀察試樣變形后干涉條紋的變化來得出壓電薄膜的變形量。 

雙激光干涉盡管解決了基底彎曲的影響道路，但測量要求比較嚴(yán)格規模設備，實驗過程中上下表面入射光束須嚴(yán)格對齊; 為了滿足測試精度的要求，試樣表面需要打磨光滑; 且空間分辨 率較低指導，只能測一點的位移情況競爭力。

Leighton G J T 等人將壓電樣品固定于支座上，消除 基底彎曲產(chǎn)生的影響，利用單光束激光掃描振動計來掃描得出壓電薄膜的整個表面應(yīng)變分布情況集聚。Chun D M 等人則是結(jié)合懸臂梁結(jié)構(gòu)競爭力，利用激光多普勒振動計測試了PZT 薄膜的橫向壓電系數(shù)，將懸臂梁一端固定狀況，通過在上下 電極之間施加正弦電壓使懸臂梁產(chǎn)生壓電振動機製性梗阻，并且使用激光多普勒振動計測量位移。

對于壓電系數(shù)測試中影響因素的分析全過程，Stewart M 等人采用了有限元模擬仿真的方法研究了單激光干涉和雙激光干涉測試中電極尺寸的影響生產效率。在直徑為 10 mm 的試樣上，對不同尺寸的電極施加 1 V 的交流電壓效果，得出有效的縱向壓電系數(shù)與電極尺寸的關(guān)系使用。對于壓電薄膜夾緊 的情況，隨著電極尺寸的減小密度增加，上表面位移逐漸減小有效性。與 Wang Z的研究一致，對于夾緊的試樣機遇與挑戰，只有當(dāng)電極尺寸大于 2 mm 時創新科技，才能測得比較精q的壓電系數(shù)值。

Dufay T 等人則利用懸臂梁結(jié)構(gòu)測試了 PZT 薄膜的橫向壓電系數(shù)共創輝煌，并分析了成分組成以及薄膜厚度對測試結(jié)果的影響具有重要意義。當(dāng) PZT 薄膜中的 Zr 元素占比從 40 % 增長至 60 % ，橫向壓電系數(shù)的 值先增大后減小大部分，當(dāng) Zr 占 比 為 52 % ～ 54 % 時強大的功能，壓電系數(shù)達(dá)到大值，這與壓電陶瓷的規(guī) 律是一致的解決方案。對于 Zr/Ti = 57 /43 的 PZT 薄膜優勢，當(dāng)薄膜厚度 從1． 8 μm增加到4． 2 μm時，壓電系數(shù)先減小后增加增產，當(dāng)厚度 小于2． 4 μm時便利性，壓電系數(shù)基本維持在12 pC/N 左右，在2． 4～ 3 μm之間突然增加 1 倍行動力。

顯微鏡法

壓電力顯微鏡( PFM) 是一種基于掃描力顯微鏡測試壓電系數(shù)的裝置提供有力支撐，并在近年來被廣泛應(yīng)用于壓電系數(shù)測試中。原理是在顯微鏡導(dǎo)電端部與底部電極之間施加交流信號保供，測試局部振動位移自行開發，基于逆壓電效應(yīng)推導(dǎo)出壓電系數(shù)。 Soergel E 等人闡述了壓電力顯微鏡的工作原理振奮起來。利用信號發(fā)生器將交流信號施加于品質，交變信號導(dǎo)致薄膜產(chǎn)生周期性的振動并傳遞至利用好。通過位置探測器和鎖相放大器可讀出振動位移的數(shù)值深入各系統〗鉀Q問題？v向壓電系數(shù)可通過測得的位移與施加的電壓幅值計算得出。利用顯微鏡測振動位移與激光干涉法相比空間分辨率大大提高作用，且可通過掃描模式來測得表面位移分布情況相互配合。

采用壓電力顯微鏡測試壓電系數(shù)也會受到外界因素的影響導(dǎo)致測試結(jié)果的偏差。Wang J H 等人在壓電力顯微鏡測試壓電系數(shù)時考慮了基底效應(yīng)的影響著力增加，并分析了基底的彈性和電邊界條件對于測試的影響智能化。Zhang M 等人采用仿真和實驗兩種方式對比了電場分布的影響。電場分 布受頂電極的影響處理，沉積頂電極時電場分布均勻建設，采用直接作為頂電極時電場分布集中。隨著電極面積的增加開展研究，薄膜變形逐漸增加姿勢。這一規(guī)律可采用壓電薄膜中的偶極子貢獻(xiàn)來解釋，外加電場可以使偶極子指向一個確定的方向首要任務，當(dāng)頂電極面積增加時綠色化，包含的偶極子數(shù)量增加，薄膜變形增 大發展。故在測試壓電系數(shù)時保持穩定，需要將電場的分布考慮在內(nèi)。

X 射線衍射法

X 射線衍射法過去用于小變形的測試以及試樣結(jié)構(gòu)表 征面向。隨著高分辨率 X 射線衍射技術(shù)的廣泛應(yīng)用支撐作用，能夠通過衍射方法得到精q的小變形進(jìn)而用來測試薄膜的壓電系數(shù)。   

Thery V 等人將高分辨率同步 X 射線衍射( HＲ-XＲD)技術(shù)應(yīng)用到 BaTiO3 薄膜材料的測試當(dāng)中建設項目。該技術(shù)能夠提供非常高的角度位置精度規模，可以精q測量有效壓電系數(shù)。

Khamidy N I 等人選用二維 X 射線衍射( XＲD2) 表 征壓電薄膜的講道理。XＲD2 是一種用二維探測器代替點探測器的 X 射線衍射( XＲD) 發展目標奮鬥。與傳統(tǒng)的 XＲD 相比，該技術(shù)能 夠在短的時間內(nèi)同時記錄許多樣品信息更多的合作機會。通過測試薄膜沿厚度方向的應(yīng)變情況延伸，每個點的有效縱向壓電系數(shù)可以通過繪制應(yīng)變與電場的關(guān)系圖來計算，然后提取這些圖的 斜率得到縱向壓電系數(shù)服務好。壓電系數(shù)隨薄膜厚度的變化可以用來解釋機械夾緊對薄膜壓電的影響新趨勢。 

間接測試方法

除了直接測試方法測試薄膜壓電系數(shù)外，也有研究采用間接測試方法測試薄膜的壓電系數(shù)共謀發展。這些方法大多依賴于待測樣品的諧振響應(yīng)學習，包括串聯(lián)諧振與并聯(lián)諧振。本 文簡單介紹兩種間接測試方法。

體聲波和表面聲波法

壓電薄膜與上下電極和基底構(gòu)成四層復(fù)合結(jié)構(gòu)應用優勢，可以當(dāng)作一個換能器高質量發展。在交流電壓的激勵下，在具有電極圖案 的襯底上產(chǎn)生體聲波或表面聲波高效節能。體聲波從頂電極沿基底 縱向傳播至一定深度并返回影響力範圍。表面聲波則是在薄膜表面從一端傳播至另一端。與脈沖頻率測量相結(jié)合新創新即將到來，可以將產(chǎn)生和檢測的信號在時間上分開測量并用來確定換能器損耗邁出了重要的一步。 得知薄膜的電學(xué)和聲學(xué)特性后，即可得出壓電系數(shù)重要工具。

復(fù)合諧振法

采用復(fù)合諧振法測試的壓電薄膜試樣通常由上下電 極積極拓展新的領域，壓電薄膜和基底構(gòu)成四層復(fù)合結(jié)構(gòu)。采用復(fù)合諧振法測量壓電系數(shù)更優質，即在一定的頻率范圍內(nèi)多種方式，對壓電薄膜施加 交流電壓信號，使其產(chǎn)生振動技術創新，通過分析壓電材料的阻抗特 性深入交流研討，得到其串聯(lián)和并聯(lián)諧振頻率 fs 和 fp，通過計算可以得出機電耦合系數(shù)廣泛應用，彈性常數(shù)和密度的值關註度，進(jìn)而計算出壓電系數(shù)的值。